金属热处理沉积类工艺术语

马弗炉主要用于各工矿企业、科研单位、大专院校等化验室、实验室作化学分析、加温、热处理，物理测定和一般小型钢件热处理时加热之用，是各类化验室中不可缺少的仪器设备。下面就说一下金属热处理沉积类工艺术语：

（1）化学气相沉积　通过化学气相反应在工件表面形成薄膜的工艺。

（2）等离子体增强化学气相沉积　利用各种等离子体的能量促使反应气体离解、活化以增强化学反应的化学气相沉积。其中包括:射频放电等离子体化学气相沉积、微波等离子体化学气相沉积、ERC (电子回旋共振)微波等离子体化学气相沉积、直流电弧等离子体喷射化学气相沉积等。

（3）火焰沉积　采用高温火焰加热，使反应气体离解、活化的化学气相沉积。

（4）热丝辅助化学气相沉积　采用通电的灯丝加热反应气体的化学气相沉积。

（5）电子束辅助热丝化学气相沉积　采用在灯丝和衬底间施加偏压的方法产生等离子体，提高沉积速率，改善薄膜材料质量的化学气相沉积。

（6）激光辅助化学气相沉积　利用激光的热或光子能量效应使反应气体活化的化学气相沉积。其中包括:光化学气相沉积、光热解化学气相沉积等。

（7）金属有机化合物化学气相沉积　利用金属有机化合物作为反应气体的化学气相沉积。

（8）物理气相沉积　在真空加热条件下利用蒸发、辉光放电、弧光放电、溅射等物理方法提供原子、离子，使之在工件表面沉积形成薄膜的工艺。其中包括蒸镀、溅射沉积、磁控溅射以及各种离子束沉积方法等。

（9）离子镀　在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。

（10）盐浴沉积　钢件或模具在含有Cr、V、Nb等元素的高温棚砂盐浴中表面沉积这些元素碳化物耐磨层的工艺。